羅茨真空機組氣量不夠，這種故障的發生使泵不能充分發揮其效率，不能滿足工藝要求。這種故障的原因可能是：泵的轉速不夠、連接處漏氣、環境溫度過高等因素，處理方法如下：

　　如果羅茨真空機組的轉速不夠，而泵送能力與泵的轉速成正比，泵的泵送能力就會下降，有兩種情況：一種是泵的轉速配備不合適，即滑輪直徑不合適，也就是速比不合適，可以更換滑輪，改變滑輪直徑；另一種是皮帶安裝不當，沒有張力皮帶打滑，從而降低轉速，可以調整羅茨真空機組位置，使皮帶有一定的拉力。
　　密封不嚴進氣管道或軸封連接處漏氣也會出現這種情況，找出漏氣的地方，根據具體情況進行處理。如果連接法蘭泄漏，可能是因為連接螺絲松動，墊片被壓壞變質，或者法蘭面加工不均勻。如果軸封處漏氣，可能是密封杯安裝不正確或裂開。此時，更換密封杯并正確安裝，如果密封了填料，可以拔出堵塞的填料，用新的替換它，然而，填料的接縫應傾斜并相互搭接，頭一個圓的界面需要與二個圓的界面錯開，不能在羅茨真空機組的同一位置。
　　由實踐得知，環境溫度升高則羅茨真空機組抽氣量就會降低。針對這種情況，盡量將注入水溫降低。